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[2387] ふと思ったこと (11 レス)
2001/06/03(Sun) 23:18:11
さん
Web: (none)
半導体のウエハーって何で円形なんでしょう。四角い方が無駄が少ないような感じがするんですけど。

1. あまがえる 2001/06/03(Sun) 23:22:58
単結晶を引き上げるときに丸くなるから。

2. Casper-01 2001/06/03(Sun) 23:35:36
種を浸けてから冷却させつつ回転させながら引き出すためです。

3. Delta_T 2001/06/03(Sun) 23:36:54
解けたシリコンの中に 単結晶の種を入れ すさまじく厳密な温度管理の元 種を回転させながら引き上げることで円柱形の単結晶シリコンを作るみたいです。電子立国日本の自叙伝で詳しくやってました すごくおもしろかったですよ。

4. まるちぃ 2001/06/03(Sun) 23:42:19
NHKスペシャルの「電子立国」でみた記憶があるなぁ、、
単結晶を引き上げるときの映像を。
多結晶のものを高温で溶かし、高純度の単結晶棒を種棒として回転させながら、非常にゆっくりとした早さで引き上げていくと単結晶の固まりとなるんでしたよね。

5. Tx2 2001/06/04(Mon) 04:34:40
FZ(Floating Zone)で検索したらこういうのがヒットしました。
http://www.msil.ab.psiweb.com/japanese/msilhist4.html

6. sagiyama 2001/06/04(Mon) 05:55:31
聞くほうもすごいが、答えるほうもすごい(感心

7. Gaia 2001/06/04(Mon) 07:18:11
うう、思いっきりつい最近学校で習ったところなのに・・・出遅れた(爆)
あ、じゃあ関連ネタ一つ。
正確にはウエハーは正円ではなくて、一部分が欠けててちょうどかまぼこ?の様になっています。
これは、欠けている断面にそって単結晶の向きが解るようになっているためです。

8. BVV5@でさき 2001/06/04(Mon) 08:13:40
引き上げ時には丸くても切るときにそう言う加工を。
ちなみにカッターの90%以上は大田区糀谷のある会社で作られています。

9. PANZER 2001/06/04(Mon) 12:21:52
>一部欠けててちょうどかまぼこ
オリフラのことですね、最近は直線状に切るのではなく/\こんな形で切り込み(ノッチと呼ぶ)が入っています。大学時代は氷の結晶を研究していましたが全く同じ方法で氷の単結晶を作っていました。結晶面を合わせて切り出した種を超純水に浸けて回転させながら引き上げて作ります。おかげで就職時配属希望先には書かなかったのに有無をいわさず半導体系の職場に回されました。

10. ろいろい 2001/06/05(Tue) 08:46:54

単結晶=パイルバンカーな俺は狂っているのか・・

11. 2001/06/07(Thu) 22:46:43
すっかり返事が遅くなってしまいましたが・・そのような理由だったんですね。勉強になりました。


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